二氧化硅單一組分的玻璃。這種石英玻璃管硬度大可達莫氏七級,具有、膨脹系數低、耐熱震性、化學穩定性和電絕緣性能良好,并能透過紫外線和紅外線。除氫氟酸、熱磷酸外,對一般酸有較好的耐酸性。按透明度分為透明和不透明兩大類。按純度分為高純、普通和摻雜三類。用水晶,硅石,硅化物為原料,經高溫熔化或化學氣相沉積而成。熔制方法有電熔法、氣煉法等。
石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結果。用于制作半導體、電光源器、半導通信裝置、激光器,光學儀器,實驗室儀器、電學設備、設備和耐腐蝕的化學儀器、化工、電子、冶金、建材以及國防等工業,應用十分廣泛。
隨著半導體技術的發展,石英玻璃管被廣泛的用于半導體生產的各項工序中。比如,直拉法把多晶轉化成單晶硅;清洗時用的清洗槽;擴散時用的擴散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。